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本发明提供一种衬底处理装置。衬底处理装置(100)具备：衬底保持部(120)、刷(160)、刷保持部(140)及吸引口(152r)。衬底保持部(120)保持衬底(W)。刷保持部(140)具有与刷(160)一起旋转的刷装设部(150)。吸引口...
该专利属于株式会社斯库林集团所有，仅供学习研究参考，未经过株式会社斯库林集团授权不得商用。

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