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一种半导体生产翻转装置制造方法及图纸
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下载一种半导体生产翻转装置的技术资料
文档序号:29830591
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本实用新型提供了一种半导体生产翻转装置,属于半导体技术领域,该半导体生产翻转装置包括支撑台、水平翻转组件和竖直翻转组件。所述水平翻转组件包括旋转台、驱动电机、第一液压缸、托台和真空吸盘,所述竖直翻转组件包括滑动导杆、滑动座、第二液压缸、第三...
该专利属于杭州帕兹电子有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过杭州帕兹电子有限公司授权不得商用。
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