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本发明涉及半导体领域，公开了一种清洁装置及清洁方法。其中，清洁装置，包括：用于沿预设方向支撑待清洁物体的承载机构，用于对所述待清洁物体进行清洁的清洁机构，所述清洁机构包括基座和可拆卸设置在所述基座上的第一清洁件；所述第一清洁件包括用于与所述...
该专利属于长鑫存储技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过长鑫存储技术有限公司授权不得商用。

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