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信息处理方法、信息处理装置和计算机可读取的存储介质制造方法及图纸
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文档序号:29762252
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本发明说明对基于基片的表面图像,以高可靠性评价基片的表面的处理状态有效的信息处理方法、信息处理装置和计算机可读取的存储介质。信息处理方法的一个例子可以包括:获取对象基片的表面的变形因子的信息的步骤;获取对象基片的表面图像的步骤;基于表面的变...
该专利属于东京毅力科创株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过东京毅力科创株式会社授权不得商用。
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