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本实用新型公开了一种碳化硅晶体缺陷的检测装置，包括检测箱体，检测箱体的箱壁具有遮光功能，检测箱体中间设置有竖直布置的透明隔板，透明隔板将检测箱体分隔成前箱室和后箱室；前箱室内设置有光源和竖直布置的夹具，夹具用于夹持竖直放置的柱状碳化硅晶体，...该专利属于江苏天科合达半导体有限公司;北京天科合达半导体股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过江苏天科合达半导体有限公司;北京天科合达半导体股份有限公司授权不得商用。