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适用于电子束检查设备的台架设备制造技术
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下载适用于电子束检查设备的台架设备的技术资料
文档序号:29713150
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公开了台架设备,包括:物体支撑件,被配置为支撑物体;定位装置,被配置为定位物体支撑件;第一连接布置,被配置为将物体支撑件连接到定位装置,第一连接布置包括至少一个阻尼连接件;以及第二连接布置,被配置为将物体支撑件连接到定位装置,第二连接布置包...
该专利属于ASML荷兰有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过ASML荷兰有限公司授权不得商用。
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