适用于电子束检查设备的台架设备制造技术

公开了台架设备，包括：物体支撑件，被配置为支撑物体；定位装置，被配置为定位物体支撑件；第一连接布置，被配置为将物体支撑件连接到定位装置，第一连接布置包括至少一个阻尼连接件；以及第二连接布置，被配置为将物体支撑件连接到定位装置，第二连接布置包括至少一个基本刚性的连接件。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】适用于电子束检查设备的台架设备相关申请的交叉引用本申请要求于2018年12月14日提交的EP申请18212802.5的优先权，该申请通过整体引用并入本文。
本说明书涉及用于电子束检查设备的台架定位装置，电子束检查设备被配置为检查诸如半导体器件的样本。
技术介绍
在半导体工艺中，不可避免地生成缺陷。这种缺陷可能会影响器件性能，甚至导致故障。器件良率可能因此受到影响，导致成本增加。为了控制半导体工艺的良率，缺陷监视很重要。一种用于缺陷监视的工具是SEM(扫描电子显微镜)，SEM使用一个或多个电子束来扫描样本的目标部分。诸如通过诸如SEM的检查设备所检查的晶片或衬底之类的物体会受到定位误差的影响，特别是会受到动态(例如，振动)定位误差和热定位误差的影响。需要减轻这些定位误差贡献项中的一个，优选地减轻两者。
技术实现思路
在本专利技术的第一方面中，提供了台架设备，包括：被配置为支撑物体的物体支撑件；被配置为定位物体支撑件的定位装置；第一连接布置，被配置为将物体支撑件连接到定位装置，第一连接布置包括至少一个阻尼本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种台架设备，包括：/n物体支撑件，被配置为支撑物体；/n定位装置，被配置为定位所述物体支撑件；/n第一连接布置，被配置为将所述物体支撑件连接到所述定位装置，所述第一连接布置包括至少一个阻尼连接件；以及/n第二连接布置，被配置为将所述物体支撑件连接到所述定位装置，所述第二连接布置包括至少一个基本刚性的连接件。/n

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】20181214 EP 18212802.51.一种台架设备，包括：
物体支撑件，被配置为支撑物体；
定位装置，被配置为定位所述物体支撑件；
第一连接布置，被配置为将所述物体支撑件连接到所述定位装置，所述第一连接布置包括至少一个阻尼连接件；以及
第二连接布置，被配置为将所述物体支撑件连接到所述定位装置，所述第二连接布置包括至少一个基本刚性的连接件。


2.根据权利要求1所述的台架设备，其中所述第二连接布置包括仅一个基本刚性的连接件。


3.根据权利要求2所述的台架设备，其中所述仅一个基本刚性的连接件位于所述物体支撑件的几何中心或重心处。


4.根据权利要求1所述的台架设备，其中所述至少一个阻尼连接件包括三个或四个阻尼连接件。


5.根据权利要求1所述的台架设备，其中所述至少一个阻尼连接件被配置为至少抑制所述物体支撑件的振动。


6.根据权利要求1所述的台架设备，其中所述至少一个阻尼连接件包括阻尼材料。


7.根据权利要求6所述的台架设备，其中所述阻尼材料包括橡胶。


8.根据权利要求6所述的台架设备，其中所述阻尼材料至少在特定频率范围内具有大于0.2、1或1.2的损耗因数，其中所述特定频率范围在10...

【专利技术属性】
技术研发人员：J·H·A·范德里杰特，P·P·亨佩尼尤斯，A·E·库伊克，J·古森斯，P·W·威利舒维斯，
申请(专利权)人：ASML荷兰有限公司，
类型：发明
国别省市：荷兰;NL