温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明的问题在于在载台上表面以高吸附力保持矩形状基板并稳定进行处理液的涂布。本发明包括：载台，在上表面具有能供矩形状基板载置的基板载置区域；喷嘴，具有喷出处理液的狭缝状喷出口；喷嘴移动部，使喷嘴在载台上方移动；第一负压产生部，自在基板载置区...
该专利属于株式会社斯库林集团所有，仅供学习研究参考，未经过株式会社斯库林集团授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。