下载芯片尺寸图像测量的自适应建模方法的技术资料

文档序号:29677954

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本发明属于视觉检测技术领域,具体涉及一种芯片尺寸图像测量的自适应建模方法,包括:相机标定获取像素尺寸,建立芯片设计尺寸与像素尺寸之间的映射关系,将用户输入的芯片设计尺寸根据映射关系转换到像素坐标系中,在像素坐标系下建立芯片的量测ROI模板。...
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