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反应室(100)被用于在基底上沉积半导体材料的层的沉积反应器；反应室包括管(110)，管由石英制成并且具有圆柱形的形状，并且适于在使用中被定位成使得其轴线(111)是竖直的；管(110)具有圆柱形的内部间隙(112)，内部间隙沿着管(110...
该专利属于洛佩诗公司;株式会社电装所有，仅供学习研究参考，未经过洛佩诗公司;株式会社电装授权不得商用。

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