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本发明提供了一种超高灵敏度声表面波湿度传感器，从下至上依次为：压电衬底、叉指电极以及氧化石墨烯‑ZnO纳米线‑石墨烯量子点复合结构敏感层。本发明的有益效果如下：高灵敏、易于检测以及工艺简单，在相对湿度区间为45%‑50%之间达到了148.6...
该专利属于湖南大学所有，仅供学习研究参考，未经过湖南大学授权不得商用。

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