一种超高灵敏度声表面波湿度传感器制造技术

本发明专利技术提供了一种超高灵敏度声表面波湿度传感器，从下至上依次为：压电衬底、叉指电极以及氧化石墨烯‑ZnO纳米线‑石墨烯量子点复合结构敏感层。本发明专利技术的有益效果如下：高灵敏、易于检测以及工艺简单，在相对湿度区间为45%‑50%之间达到了148.61 kHz/%RH的超高灵敏度。

【技术实现步骤摘要】
一种超高灵敏度声表面波湿度传感器
本专利技术涉及信息电子材料
，尤其涉及一种超高灵敏度声表面波湿度传感器。
技术介绍
湿度传感器在工业生产、健康护理、非接触人机界面等方面具有广泛的应用前景。基于声表面波技术（surfaceacousticwave,SAW）的湿度传感器由于尺寸小、与集成电路制备工艺兼容、成本低、可无线无源化等优势，在湿度探测领域受到广泛关注。声表面波对于衬底表面扰动十分敏感，表面处的质量负载，电导率、弹性模量等因素都会对其幅度、频率及相位产生影响。通过在表面引入一层吸附水分子的敏感膜，可以制备出声表面波湿度传感器。目前已经有研究给出氧化石墨烯、半导体金属氧化物、石墨烯量子点能够作为声表面波湿度敏感薄膜。中国专利CN111693601A指出，将半导体金属氧化物与二维材料相结合，有利于提升比表面积和吸附活性位点数量，氧化锌纳米线与石墨烯量子点复合湿度敏感薄膜，可将灵敏度提升至40.16kHz/RH。但是，在相对湿度区间为45%-50%之间，40.16kHz/RH的灵敏度仍无法满足现实的需求。专利本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种超高灵敏度声表面波湿度传感器，其特征在于，从下至上依次为：压电衬底、叉指电极以及氧化石墨烯-ZnO纳米线-石墨烯量子点复合结构敏感层。/n

【技术特征摘要】
1.一种超高灵敏度声表面波湿度传感器，其特征在于，从下至上依次为：压电衬底、叉指电极以及氧化石墨烯-ZnO纳米线-石墨烯量子点复合结构敏感层。


2.如权利要求1所述的超高灵敏度声表面波湿度传感器，其特征在于，所述压电衬底包括衬底和与所述衬底叠设的压电薄膜。


3.如权利要求1所述的一种超高灵敏度声表面波湿度传感器，其特征在于，所述压电衬底可选自铌酸锂、钽酸锂、石英中的任意一种。


4.如权利要求2所述的一种超高灵敏度声表面波湿度传感器，其特征在于，所述衬底为硅、玻璃、碳化硅中的任意一种；所述压电薄膜由氧化锌、氮化铝或掺杂氮化铝中的任意一种制成，且厚度为0.2～6μm。


5.如权利要求1所述的一种超高灵敏度声表面波湿度传感器，其特征在于，所述叉指电极由金属、导电氧化物、导电纳米线、二维材料中的任意一种制作。


6.如权利要求5所述的一种超高灵敏度声表面波湿度传感器，其特征在于，所述金属选自铝、金、银、铜、铬、钼、镍或钨中的任意一种。<...

【专利技术属性】
技术研发人员：周剑，吴建辉，段辉高，刘侃，季张斌，
申请(专利权)人：湖南大学，
类型：发明
国别省市：湖南;43