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本发明提供一种测温装置的调节装置，用于半导体工艺设备中，包括第一承载件、第二承载件和调节组件，其中，第一承载件与测温装置连接，用于对测温装置进行承载；第二承载件位于第一承载件下方，并与第一承载件相对设置；调节组件设置在第一承载件与第二承载件...
该专利属于北京北方华创微电子装备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京北方华创微电子装备有限公司授权不得商用。

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