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一种用于检测晶圆的翘曲度的装置及检测方法，晶圆放置于传输腔室中的承载装置上，检测装置包括横梁、一对测距传感器、驱动装置和处理器；其中，横梁设于传输腔室的上盖，一对测距传感器设于横梁上；驱动装置用于驱动横梁相对于晶圆所在平面沿水平方向运动，带...
该专利属于北京北方华创微电子装备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京北方华创微电子装备有限公司授权不得商用。

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