温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明涉及一种MOEMS光开关抗高过载结构的网格设计方法。包括以下内容：该光开关结构包含器件层(1)(包括输入光纤、输出光纤、可动式微镜、电热保险机构、电热驱动机构)、埋氧层(2)、衬底层(3)，其特征在于：将光开关的衬底层设计成镂空的网格...
该专利属于北京理工大学所有，仅供学习研究参考，未经过北京理工大学授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。