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本发明公开一种进气装置及反应腔室，反应腔室包括腔室本体和喷淋头，喷淋头设置于腔室本体的顶部，进气装置用于和喷淋头连通，进气装置包括第一管道和进气组件；第一管道用于与喷淋头相连通，第一管道的侧壁开设有第一通孔，第一管道的进气端用于通入第一反应...
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