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本发明提供加工方法和加工装置，能够抑制被加工物的检测状态恶化。一种对被加工物实施加工的加工方法，其包含如下的步骤：工作台拍摄步骤，对保持工作台的透明部的异物进行拍摄而形成异物拍摄图像，该保持工作台至少在保持面的一部分具有由透明部件构成的透明...
该专利属于株式会社迪思科所有，仅供学习研究参考，未经过株式会社迪思科授权不得商用。

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