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文档序号:29476616
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本申请提供了一种反应装置。该装置包括加热设备,具有加热腔,加热设备用于加热源材料形成反应物;第一管路,与加热腔连通,第一管路用于通入载气;第二管路,一端与加热设备连通;反应器,与第二管路的另一端连通,反应器用于采用加热后的反应物制备所需结构...
该专利属于长江存储科技有限责任公司所有,仅供学习研究参考,未经过长江存储科技有限责任公司授权不得商用。
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