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本实用新型公开了一种硅片曝光结构，包括定位组件、曝光组件，所述定位组件包括定位条组、紧固螺丝组，所述曝光组件包括蓝膜、上层光刻版、下层光刻版、硅片，在运载硅片过程中，使用定位组件定位下层光刻版与蓝膜位置，使用蓝膜定位固定硅片与托载的光刻版，...
该专利属于吉林瑞能半导体有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过吉林瑞能半导体有限公司授权不得商用。

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