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本公开提供了一种光学器件调整装置，包括：基座，适用于保持光学器件；第一调整机构，被构造成支撑基座、并驱动基座沿第一方向移动；第二调整机构，被构造成支撑第一调整机构、并驱动第一调整结构沿垂直于第一方向的第二方向移动；直立框架；以及第三调整机构...
该专利属于中国科学院微电子研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院微电子研究所授权不得商用。

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