光学器件调整装置制造方法及图纸

本公开提供了一种光学器件调整装置，包括：基座，适用于保持光学器件；第一调整机构，被构造成支撑基座、并驱动基座沿第一方向移动；第二调整机构，被构造成支撑第一调整机构、并驱动第一调整结构沿垂直于第一方向的第二方向移动；直立框架；以及第三调整机构，安装在直立框架上，并被构造成支撑第二调整机构、并驱动第二调整机构相对于直立框架沿垂直于第一方向和第二方向的第三方向移动。该光学器件调整装置用于加持光学器件，并能调整光学器件沿三个方向的直线移动自由度，上述光学器件调整装置的调节过程简单，三个方向的调整过程互不干扰，且实现了三个方向的解耦调整。

【技术实现步骤摘要】
光学器件调整装置
本公开涉及机械结构
，尤其涉及一种光学器件调整装置。
技术介绍
光学设备中常常配备较多光学部件和光学器件，光学器件(例如：透镜、反射镜、半透半反镜)通常需要两个一起成组设置。光学设备在装配和使用过程中，对两个成组设置的光学器件之间的空间相对位置精度要求较高；然而，光学器件的调整装置的设计、制造及装配过程中会出现较多累积误差，使得调整装置在使用过程中，易导致两个光学器件之间的空间相对位置的不准确。现有调整装置通常只有一个自由度，即仅能调整两个光学器件之间的一个方向上的直线距离，因此，无法确定两个成组光学器件之间的空间相对位置。此外，目前现有多自由度调整装置，在调整过程中，会出现耦合问题，其调整过程极为复杂。
技术实现思路
(一)要解决的技术问题本公开提出了一种光学器件调整装置，以至少解决上述现有技术中存在的问题。(二)技术方案为达到上述目的，本公开提供了一种光学器件调整装置，适用于调整光学器件相对于配合光学器件的姿态，包括：基座，适用于保持光学器件；第一调整机构，被构造成支撑基座本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种光学器件调整装置，适用于调整光学器件相对于配合光学器件的姿态，包括：/n基座，适用于保持光学器件；/n第一调整机构，被构造成支撑所述基座、并驱动所述基座沿第一方向移动；/n第二调整机构，被构造成支撑所述第一调整机构、并驱动所述第一调整结构沿垂直于所述第一方向的第二方向移动；以及/n直立框架；以及/n第三调整机构，安装在所述直立框架上，并被构造成支撑所述第二调整机构、并驱动所述第二调整机构相对于所述直立框架沿垂直于所述第一方向和所述第二方向的第三方向移动。/n

【技术特征摘要】
1.一种光学器件调整装置，适用于调整光学器件相对于配合光学器件的姿态，包括：
基座，适用于保持光学器件；
第一调整机构，被构造成支撑所述基座、并驱动所述基座沿第一方向移动；
第二调整机构，被构造成支撑所述第一调整机构、并驱动所述第一调整结构沿垂直于所述第一方向的第二方向移动；以及
直立框架；以及
第三调整机构，安装在所述直立框架上，并被构造成支撑所述第二调整机构、并驱动所述第二调整机构相对于所述直立框架沿垂直于所述第一方向和所述第二方向的第三方向移动。


2.根据权利要求1所述的光学器件调整装置，其中，所述基座包括：
可移动套筒，所述可移动套筒内部设有在所述第三方向上延伸的通孔，所述通孔内设有轴肩；以及
锁紧螺母，与所述通孔的螺纹结合，以将所述光学器件在所述通孔内保持在所述轴肩和锁紧螺母之间。


3.根据权利要求2所述的光学器件调整装置，其中，所述第一调整机构包括：
第一支撑框架，所述可移动套筒通过第一导轨机构可移动地支撑在所述第一支撑框架上；以及
第一驱动机构，被构造成驱动所述可移动套筒相对于所述第一支撑框架在所述第一方向上移动。


4.根据权利要求3所述的光学器件调整装置，其中，所述第一调整机构还包括第一弹性复位机构，所述第一弹性复位机构被构造成在所述第一驱动机构施加在所述可移动套筒上的驱动力消失的情况下，所述第一弹性复位机构驱动所述可移动套筒恢复到原位。


5.根据权利要求3或4所述的光学器件调整装置，...

【专利技术属性】
技术研发人员：张金，李璟，陈进新，王丹，杨光华，高斌，
申请(专利权)人：中国科学院微电子研究所，
类型：发明
国别省市：北京;11