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本发明涉及一种三维微观形貌斜扫描方法及装置。该方法是通过计算机控制三个步进电机调整聚焦物体位置，保证在斜扫描的过程中始终保持聚焦观察对象在中心位置，并得到物体焦平面内的图像纹理和高层信息，再通过图像合成和重构得到比较大的尺度的三维形貌图。该...
该专利属于武汉理工大学所有，仅供学习研究参考，未经过武汉理工大学授权不得商用。

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