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一种探测装置和实现太赫兹波探测的方法制造方法及图纸
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文档序号:29452843
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本文公开一种探测装置和实现太赫兹波探测的方法,本发明实施例探测装置包括:构成电磁谐振阵列的两个以上探测单元,探测单元包括:沟道、正金属电极、负金属电极和电磁谐振结构;其中,正金属电极和负金属电极欧姆接触于沟道的两端,且仅通过沟道电连接;电磁...
该专利属于清华大学所有,仅供学习研究参考,未经过清华大学授权不得商用。
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