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本发明公开了一种阴影环及反应腔结构，其中阴影环包括：上表面；环形内径；环形外径；下表面；以及多个突出部，其被布置在所述环形外径上；所述突出部内设有拨片结构，拨片结构与所述下表面间设有开合角。一种反应腔结构，包括加热盘，在反应腔室内所述加热盘...
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