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本发明涉及一种薄膜形成装置以及用于形成薄膜的自由基单元，根据一实施例的薄膜形成装置包括：腔室；多个气体流入部，在腔室的上部形成，接收用于自由基反应的至少两种反应气体和前体；以及自由基单元，通过使从气体流入部供给的反应气体产生反应来生成自由基...
该专利属于EQ泰科普勒斯株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过EQ泰科普勒斯株式会社授权不得商用。

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