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三维半导体存储器装置制造方法及图纸
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下载三维半导体存储器装置的技术资料
文档序号:29291036
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一种三维半导体存储器装置包括:第一衬底上的外围电路结构;外围电路结构上的第二衬底;第二衬底上的电极结构,电极结构包括堆叠的电极;以及垂直沟道结构,其贯穿电极结构。外围电路结构包括第二衬底下方的伪互连结构。伪互连结构包括堆叠的伪互连线以及将最...
该专利属于三星电子株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过三星电子株式会社授权不得商用。
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