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一种载置台的异物的检测方法以及检测装置，提供一种能够检测能够吸附被检查物的载置台的表面的异物的技术。包括：取得能够吸附被检查物的载置台的表面的基准状态下的第一图像中包含的第一图案的第一位置信息的步骤；取得上述第一图像的摄像后的上述表面的第二...
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