载置台的异物的检测方法以及检测装置制造方法及图纸

一种载置台的异物的检测方法以及检测装置，提供一种能够检测能够吸附被检查物的载置台的表面的异物的技术。包括：取得能够吸附被检查物的载置台的表面的基准状态下的第一图像中包含的第一图案的第一位置信息的步骤；取得上述第一图像的摄像后的上述表面的第二图像中包含的第二图案的第二位置信息的步骤；以及将上述第一位置信息与上述第二位置信息进行比较，从而检测上述表面的异物的步骤。

【技术实现步骤摘要】
载置台的异物的检测方法以及检测装置
本专利技术涉及载置台的异物的检测方法以及检测装置。
技术介绍
专利文献1公开了一种异物检测装置，其包括：对象像素提取单元，其对于将检查对象进行摄像的摄像图像，对各像素的亮度进行检测，并基于该亮度自全像素提取对象像素；亮度差检测单元，其对上述对象像素与位于上述对象像素的周边的多个周边像素的亮度差进行检测；以及异物判定单元，其基于上述亮度差来判定异物的有无。<现有技术文献><专利文献>专利文献1：(日本)特开2011－163804号公报
技术实现思路
<本专利技术要解决的问题>本专利技术提供一种对能够吸附被检查物的载置台的表面的异物进行检测的技术。<用于解决问题的手段>根据本专利技术的一个方式，提供一种载置台的异物的检测方法，包括：取得能够吸附被检查物的载置台的表面的基准状态下的第一图像中包含的第一图案的第一位置信息的步骤；取得上述第一图像的摄像后的上述表面的第二图像中包含的第二图案的第二位置信息的步骤；以及将上述第一位置信息与上述第二位置信息进行比较，从而检测上述表面的异物的步骤。<专利技术的效果>根据一个方面，能够对能够吸附被检查物的载置台的表面的异物进行检测。附图说明图1是示出实施方式的检查装置10的一个例子的立体图。图2是示出本实施方式中的载置台18的一个例子的剖视图。图3是示出通过训练功能和颗粒检测功能分别取得基准图像和检查用图像时的摄像顺序的一个例子的图。图4是示出控制装置13取得基准数据时进行的处理的一个例子的流程图。图5是示出控制装置13取得检查用位置信息并检测异物时进行的处理的一个例子的流程图。具体实施方式以下，参照附图对用于实施本专利技术的方式进行说明。需要说明的是，本说明书以及附图中，有时通过对实质上相同的构成付与相同的附图标记而省略重复的说明。以下，虽然使用图中的上下方向或上下关系进行说明，但其并不表示普遍的上下方向或上下关系。[实施方式]图1是示出实施方式的检查装置10的一个例子的立体图。图1中，为了方便说明，检查装置10的一部分被切去示出。如图1所示，检查装置10具有装载室11、探测室12、控制装置13以及显示装置14。装载室11具有作为搬运机构的一个例子的搬运臂15。搬运臂15用于将容纳于盒体C中的作为基板的半导体晶圆(以下称为“晶圆”)W搬入探测室12。晶圆W是被检查物的一个例子。另外，搬运臂15用于将检查完成的晶圆W自探测室12向规定的搬出位置搬出。探测室12用于检查通过搬运臂15被搬入的晶圆W的电气特性。探测室12中设有用于使载置台18在上下方向(图1的Z轴的方向)和横向方向(与图1的X轴和Y轴平行的XY平面内的方向)移动的X平台16X和Y平台16Y等。在载置台18上，载置有通过搬运臂15搬入的晶圆W，载置台18通过真空吸附等将载置的晶圆W吸附保持于载置台18的上表面。载置台18的上表面是载置台18的表面的一个例子。图1中，示出了圆盘状的载置台18的上表面的中心C。图2是示出本实施方式中的载置台18的一个例子的剖视图。图2所示剖面是通过载置台18的上表面的中心C的剖面。如图2所示，载置台18中设有通过驱动机构(未图示)上下移动且在载置台18的上方自由突出、隐没的支杆19。支杆19用于在将晶圆W搬入载置台18时以及将晶圆W自载置台18搬出时暂时自载置台18突出而在载置台18的上方支承晶圆W。作为一个例子，支杆19设有三根。另外，在图2中，简易示出了载置台18的真空卡盘用的吸引槽18A和加热器18B。在载置台18中设有真空卡盘，其在载置有晶圆W的状态下借助吸引槽18A吸引晶圆W并将其吸附于载置台18的上表面。真空卡盘的工作状态通过控制装置13进行控制，晶圆W的吸附/非吸附的状态能够切换。另外，在载置台18的内部设有加热器18B。加热器18B例如为了如下目的设置：在载置台18上载置晶圆W并进行形成于晶圆W上的电子设备的工作实验来检查电气特性的情况下，将晶圆W加热至工作实验中设定的温度。需要说明的是，除了加热器18B，也可以设置用于冷却载置台18的冷却机构。返回图1的说明。探测室12中设有对准装置20和探针卡(未图示)。对准装置20是用于将载置于载置台18上的晶圆W于规定的检查位置对准的光学桥的对准装置。对准装置20具有摄像机21、对准桥22、以及一对的线性引导件23、23。摄像机21以摄像方向朝向下方的方式搭载于对准桥22。对准桥22被能够在Y轴方向移动的一对的线性引导件23、23支承。对准桥22与未图示的移动机构相连接，移动机构使对准桥22在Y轴方向移动。对准桥22通过移动机构在Y轴方向移动，从而搭载于对准桥22的摄像机21也在Y轴方向移动。移动机构由控制装置13控制，摄像机21和对准桥22的移动量由控制装置13管理。对载置于载置台18上的晶圆W进行对准的情况下，通过未图示的移动机构，对准桥22沿一对的线性引导件23、23自待机位置在Y轴方向移动。由于对准桥22在Y轴方向移动，因此搭载于对准桥22的摄像机21也在Y轴方向移动，从而到达在探针卡的下方预先设定对准位置。在该状态下，通过搭载于对准桥22的摄像机21与固定于载置台18一侧的摄像机(未图示)的协同工作，进行载置台18之上的晶圆W的对准。之后，通过未图示的移动机构，对准桥22返回原来的待机位置。另外，在探测室12中，设有鼓风机15A。鼓风机15A是清洁装置的一个例子，作为一个例子，其是能够自正X方向侧向自搬运臂15接收晶圆W时的位置中的载置台18的上表面吹送氮气的装置。在图1中，将鼓风机15A简易化，仅示出用于吹出氮气的多个喷嘴的顶端。作为一个例子，鼓风机15A的多个喷嘴在Y方向排列。鼓风机15A通过控制装置13进行驱动控制，为了在期望的条件下将载置台18的上表面的异物等吹走以进行清洗，其朝向载置台18的上表面吹送氮气。另外，探针卡具有为了进行通过对准装置20对准的晶圆W的电气特性的检查的探针。探针卡相对于探测室12的上表面借助嵌入环固定于能够开闭的顶板的中央的开口部。另外，探测室12中以能够旋转的方式配设有测试头(未图示)。在进行载置于载置台18上的晶圆W的检查的情况下，首先，探针卡和测试器(未图示)之间通过测试头电连接。然后，来自测试器的规定的信号通过探针卡输出至载置台18之上的晶圆W，来自晶圆W的响应信号通过探针卡输出至测试器。由此，通过测试器评价晶圆W的电气特性。然后，晶圆W的电气特性的检查完成后，支杆19自载置台18突出，晶圆W在支杆19的作用下被抬起。然后，在支杆19的作用下被抬起的晶圆W由移动至载置台18的搬运臂15交接，从而通过搬运臂15被搬出至规定的搬出位置。上述构成的检查装置10通过控制装置13统括地控制其工作。控制装置13包括由程序、存储器、以及CPU(CentralProcessingUnit)构成的数据处理本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种载置台的异物的检测方法，包括：/n取得能够吸附被检查物的载置台的表面的基准状态下的第一图像中包含的第一图案的第一位置信息的步骤；/n取得上述第一图像的摄像后的上述表面的第二图像中包含的第二图案的第二位置信息的步骤；以及/n将上述第一位置信息与上述第二位置信息进行比较，从而检测上述表面上的异物的步骤。/n

【技术特征摘要】
20200110 JP 2020-0029641.一种载置台的异物的检测方法，包括：
取得能够吸附被检查物的载置台的表面的基准状态下的第一图像中包含的第一图案的第一位置信息的步骤；
取得上述第一图像的摄像后的上述表面的第二图像中包含的第二图案的第二位置信息的步骤；以及
将上述第一位置信息与上述第二位置信息进行比较，从而检测上述表面上的异物的步骤。


2.根据权利要求1所述的载置台的异物的检测方法，其中，
上述用于检测异物的步骤具有：
对上述第一位置信息和上述第二位置信息进行比较，从而检测上述表面上的颗粒的步骤；以及
将上述检测到的颗粒中的、面积或尺寸为阈值以上的颗粒检测为上述异物的步骤。


3.根据权利要求2所述的载置台的异物的检测方法，其中，
上述用于检测颗粒的步骤是如下步骤：基于对上述第一图像和上述第二图像进行摄像时的上述载置台的温度差对上述第一位置信息或上述第二位置信息进行补正，并且对上述第一位置信息与上述第二位置信息中的补正的位置信息和上述第一位置信息与上述第二位置信息中的未补正的位置信息进行比较，从而检测上述表面上的颗粒。


4.根据权利要求1所述的载置台的异物的检测方法，其中，
上述用于检测异物的步骤是如下步骤：基于对上述第一图像和上述第二图像进行摄像时的上述载置台的温度差对上述第一位置信息或上述第二位置信息进行补正，并且对上述第一位置信息与上述第二位置信息中的补正的位置信息和上述第一位置信息与上述第二位置信息中的未补正的位置信息进行比较，从而检测上述表面上的异物。


5.根据权利要求1至4中任一项所述的载置台的异物的检测方法，其中，
还包括如下步骤：若检测到上述异物，则执行与存在上述异物的上述表面的异常对应的异常处理模式。


6.根据权利要求5所述的载置台的异物的检测方法，其中，
执行上述异常处理模式的步骤包括使上述表面的异常恢复的步骤、或者进行用于请求操作员判断与上述表面的异常对应的方法的通知的步骤。


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【专利技术属性】
技术研发人员：齐木健太，石田卓也，
申请(专利权)人：东京毅力科创株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP