载置台的异物的检测方法以及检测装置制造方法及图纸

一种载置台的异物的检测方法以及检测装置，提供一种能够检测能够吸附被检查物的载置台的表面的异物的技术。包括：取得能够吸附被检查物的载置台的表面的基准状态下的第一图像中包含的第一图案的第一位置信息的步骤；取得上述第一图像的摄像后的上述表面的第二图像中包含的第二图案的第二位置信息的步骤；以及将上述第一位置信息与上述第二位置信息进行比较，从而检测上述表面的异物的步骤。

【技术实现步骤摘要】
载置台的异物的检测方法以及检测装置
本专利技术涉及载置台的异物的检测方法以及检测装置。
技术介绍
专利文献1公开了一种异物检测装置，其包括：对象像素提取单元，其对于将检查对象进行摄像的摄像图像，对各像素的亮度进行检测，并基于该亮度自全像素提取对象像素；亮度差检测单元，其对上述对象像素与位于上述对象像素的周边的多个周边像素的亮度差进行检测；以及异物判定单元，其基于上述亮度差来判定异物的有无。<现有技术文献><专利文献>专利文献1：(日本)特开2011－163804号公报
技术实现思路
<本专利技术要解决的问题>本专利技术提供一种对能够吸附被检查物的载置台的表面的异物进行检测的技术。<用于解决问题的手段>根据本专利技术的一个方式，提供一种载置台的异物的检测方法，包括：取得能够吸附被检查物的载置台的表面的基准状态下的第一图像中包含的第一图案的第一位置信息的步骤；取得上述第一图像的摄像后的上述表面的第二图像中包含的第二图案的第二位置信息的本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种载置台的异物的检测方法，包括：/n取得能够吸附被检查物的载置台的表面的基准状态下的第一图像中包含的第一图案的第一位置信息的步骤；/n取得上述第一图像的摄像后的上述表面的第二图像中包含的第二图案的第二位置信息的步骤；以及/n将上述第一位置信息与上述第二位置信息进行比较，从而检测上述表面上的异物的步骤。/n

【技术特征摘要】
20200110 JP 2020-0029641.一种载置台的异物的检测方法，包括：
取得能够吸附被检查物的载置台的表面的基准状态下的第一图像中包含的第一图案的第一位置信息的步骤；
取得上述第一图像的摄像后的上述表面的第二图像中包含的第二图案的第二位置信息的步骤；以及
将上述第一位置信息与上述第二位置信息进行比较，从而检测上述表面上的异物的步骤。


2.根据权利要求1所述的载置台的异物的检测方法，其中，
上述用于检测异物的步骤具有：
对上述第一位置信息和上述第二位置信息进行比较，从而检测上述表面上的颗粒的步骤；以及
将上述检测到的颗粒中的、面积或尺寸为阈值以上的颗粒检测为上述异物的步骤。


3.根据权利要求2所述的载置台的异物的检测方法，其中，
上述用于检测颗粒的步骤是如下步骤：基于对上述第一图像和上述第二图像进行摄像时的上述载置台的温度差对上述第一位置信息或上述第二位置信息进行补正，并且对上述第一位置信息与上述第二位置信息中的补正的位置信息和上述第一位置信息与上述第二位置信息中的未补正的位置信息进行比较，从而检测上述表面上的颗粒。


4.根据权利要求1所述的载置台的异物的检测方法，其中，
上述用于检测异物的步骤是如下步骤：基于对上述第一图像和上述第二图像进行摄像时的上述载置台的温度差对上述第一位置信息或上述第二位置信息进行补正，并且对上述第一位置信息与上述第二位置信息中的补正的位置信息和上述第一位置信息与上述第二位置信息中的未补正的位置信息进行比较，从而检测上述表面上的异物。


5.根据权利要求1至4中任一项所述的载置台的异物的检测方法，其中，
还包括如下步骤：若检测到上述异物，则执行与存在上述异物的上述表面的异常对应的异常处理模式。


6.根据权利要求5所述的载置台的异物的检测方法，其中，
执行上述异常处理模式的步骤包括使上述表面的异常恢复的步骤、或者进行用于请求操作员判断与上述表面的异常对应的方法的通知的步骤。


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【专利技术属性】
技术研发人员：齐木健太，石田卓也，
申请(专利权)人：东京毅力科创株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP