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本发明提供了一种修复高纯铝靶材表面缺陷的加工方法，所述加工方法包括以下步骤：对高纯铝靶材表面依次进行粗加工以及精加工；所述精加工采用的刀具为金刚石刀片；所述精加工的次数为1～3次；所述加工方法采用金刚石刀具，并通过进一步控制加工过程中的参数...
该专利属于宁波江丰电子材料股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过宁波江丰电子材料股份有限公司授权不得商用。

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