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一种测试结构和测试方法技术
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文档序号:29211036
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本申请实施例公开了一种测试结构和测试方法,所述测试结构包括:源测量单元和测试单元;其中,所述源测量单元包括电压产生单元和电流检测单元;所述电压产生单元用于向所述测试单元施加测试电压,所述电流检测单元用于测量所述测试单元的击穿电流;测量到所述...
该专利属于长江存储科技有限责任公司所有,仅供学习研究参考,未经过长江存储科技有限责任公司授权不得商用。
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