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公开了一种探针卡，包括至少两个工程卡，所述工程卡包括：电路板；探针，设置在所述电路板上，其特征在于，所述工程卡通过所述探针为待测晶圆提供测试接口；所述工程卡包含第一连接部，任意两个所述工程卡通过所述第一连接部进行可拆卸连接。本申请的探针卡，...
该专利属于长江存储科技有限责任公司所有，仅供学习研究参考，未经过长江存储科技有限责任公司授权不得商用。

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