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本实用新型公开了一种晶圆加热器，其包括加热盘组件和用于固定该加热盘组件的固定基座，固定基座具有供所述加热盘组件容置的容置腔，加热盘组件包含金属盘和连接加热源的陶瓷盘，该金属盘的下表面与陶瓷盘的上表面相连接，陶瓷盘的下方设有隔热件。本实用新型...
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