下载膜层及其形成方法的技术资料

文档序号:29137025

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本发明实施例提供一种膜层及其形成方法,其中,形成方法包括:提供基底;在所述基底上形成类金刚石膜层,所述类金刚石膜层内具有碳氢化学键;对所述类金刚石膜层进行光催化处理,以使至少部分所述碳氢化学键断开,减少所述类金刚石膜层中的氢元素含量。本发明...
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