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本发明提供一种冷泵真空控制装置及其控制方法、真空控制系统和半导体加工设备，该冷泵真空控制装置包括与冷泵的抽气口连接的冷泵抽气管路和设置在冷泵抽气管路上的气动抽气阀、开关单元、吹扫单元和泄压单元，开关单元设置在气动抽气阀的控制气路上，用于在接...
该专利属于北京北方华创微电子装备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京北方华创微电子装备有限公司授权不得商用。

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