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存储器及其制备方法技术
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文档序号:29077000
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本发明提供一种存储器及其制备方法,涉及半导体技术领域,该存储器包括基底,基底上设置有隔离层,隔离层内间隔排布有多条位线,多条位线沿第一方向排布,且每条位线呈S形。该存储器的制备方法包括如下步骤:提供基底;在基底上形成多条位线沟槽;在每条位线...
该专利属于长鑫存储技术有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过长鑫存储技术有限公司授权不得商用。
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