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讨论了沉积碳膜的方法。一些实施例相较于介电表面，在金属表面上选择性地沉积碳膜。一些实施例相较于介电表面，在金属表面上选择性地形成碳柱。一些实施例在形成自对准通孔时利用碳柱。用碳柱。用碳柱。
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该专利属于应用材料公司所有，仅供学习研究参考，未经过应用材料公司授权不得商用。

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