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本公开提供一种腔室装置，包括：壳体，其内部限定有空腔；第一阀，设置于壳体的第一侧部，且配置成在关闭状态与连通至第一压力环境或第二压力环境的开启状态之间切换；切换装置，固定至所述壳体，且配置成将所述第一阀与第一压力环境或第二压力环境的入口对准...
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