下载一种半导体器件的制造方法、半导体器件和电子装置的技术资料

文档序号:29009672

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

本发明提供一种半导体器件的制造方法、半导体器件和电子装置。所述方法包括:步骤S1,提供半导体衬底,在所述半导体衬底上形成有浮栅结构,所述浮栅结构包括浮栅层,并且所述浮栅结构中包含有露出部分所述半导体衬底的间隔区域;步骤S2,在所述半导体衬底...
该专利属于无锡华润上华科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过无锡华润上华科技有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。