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公开了一种用于测量测试表面的高度图的方法，该方法使用包括预扫描传感器和高度测量传感器的多传感器设备来进行测量，所述测试表面具有变化的反射率。多传感器设备还包括被配置为对测试表面进行照明的一个或多个光源以及空间光调制器。空间光调制器被放置在一...
该专利属于株式会社三丰所有，仅供学习研究参考，未经过株式会社三丰授权不得商用。

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