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本实用新型公开了一种可驱动晶圆研磨夹具旋转的主动轮摆臂，包括半月叉臂，所述半月叉臂的两端分别设有夹具滚轮，所述夹具滚轮的轴线垂直于所述半月叉臂的叉型平面，所述半月叉臂的一端设有驱动所述夹具滚轮转动的动力源。本实用新型能驱动研磨夹具进行主动转...
该专利属于苏州铼铂机电科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州铼铂机电科技有限公司授权不得商用。

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