下载用于制备抑菌抛光液的装置及用于双面抛光硅片的系统的技术资料

文档序号:28873628

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本实用新型实施例公开了一种用于制备抑菌抛光液的装置及用于双面抛光硅片的系统,所述装置包括第一容器,所述第一容器具有注入开口,所述注入开口用于将去离子水和包含有效抛光成分的浆料原液注入到所述第一容器内;用于储存双氧水的第二容器,所述第二容器与...
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