下载一种半导体生产夹取装置的技术资料

文档序号:28844520

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本实用新型提供了一种半导体生产夹取装置,属于半导体夹取技术领域。该半导体生产夹取装置包括输送机和夹取吸附机构。所述夹取吸附机构包括支架箱、电缸、滑动箱、电动推杆、夹板、抽气泵、软管和吸盘,所述支架箱固定连接于所述输送机顶面两侧,所述电缸固定...
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