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本发明提供一种具有标记结构的三维存储器、其制备方法以及利用所述标记结构监测台阶位移的方法。所述三维存储器包括衬底、位于衬底上的第一堆叠结构以及位于第一堆叠结构上的第二堆叠结构；三维存储器设有接触区以及邻接接触区的台阶区；接触区内设有贯穿第一...
该专利属于长江存储科技有限责任公司所有，仅供学习研究参考，未经过长江存储科技有限责任公司授权不得商用。

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