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本实用新型公开了一种超薄晶圆治具，包括固定半环件、第一活动半环件和第二活动半环件，固定半环件与第一活动半环件通过铰链连接，与第二活动半环件通过铰链连接，第一活动半环件和第二活动半环件的衔接处设有衔接开关；固定半环件上固定连接有若干个第一支撑...
该专利属于绍兴同芯成集成电路有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过绍兴同芯成集成电路有限公司授权不得商用。

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