下载一种硅片打包装置的技术资料

文档序号:28776714

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本发明公开了一种硅片打包装置,所述硅片打包装置包括环境保持组件和打包件,所述环境保持组件包括壳体、固定在所述壳体内的仓体、供气件、吸气件和第一输送装置,所述仓体的两端设置有进料口和出料口,所述第一输送装置穿过所述仓体,所述第一输送装置上能够...
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