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本实用新型所提供的化学气相沉积反应腔，为一种面下型(Face Down)反应腔，能使基板(晶圆)以反应面朝下的方式与反应气体进行接触，让粉尘因为重力关往下沉降而不容易附着于基板的反应面，以改善因粉尘飘散而造成的良率损失问题。其次，而为了达到...
该专利属于苏州雨竹机电有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州雨竹机电有限公司授权不得商用。

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