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基板处理装置具有基板处理部和控制部。基板处理部具有加载埠，该加载埠构成为配置收容有至少一个基板的基板收容容器。基板处理部构成为从配置于加载埠的基板收容容器取出基板，并且对该基板实施一系列的处理。控制部构成为控制配置于加载埠的基板收容容器的盖...
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