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提供板状物保持器具，能够可靠地对存在凹凸或起伏的晶片等板状物进行吸引保持。板状物保持器具包含：保持基台，其具有保持面和与吸引源连结的连结口；第一O环，其配设在保持面；第二O环，其配设在第一O环的内侧；吸引孔，其在第一O环与第二O环之间开口并...
该专利属于株式会社迪思科所有，仅供学习研究参考，未经过株式会社迪思科授权不得商用。

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