板状物保持器具制造技术

提供板状物保持器具，能够可靠地对存在凹凸或起伏的晶片等板状物进行吸引保持。板状物保持器具包含：保持基台，其具有保持面和与吸引源连结的连结口；第一O环，其配设在保持面；第二O环，其配设在第一O环的内侧；吸引孔，其在第一O环与第二O环之间开口并与连结口连通；以及液体提供机构，其在第一O环的外周使保持面与板状物之间形成液体密封。与板状物之间形成液体密封。与板状物之间形成液体密封。

【技术实现步骤摘要】
板状物保持器具


[0001]本专利技术涉及对晶片等板状物进行吸引保持的板状物保持器具。

技术介绍

[0002]由交叉的多条分割预定线划分而在正面形成有IC、LSI等多个器件的晶片被切割装置、激光加工装置分割成各个器件芯片，分割得到的各器件芯片被用于移动电话、个人计算机等电子设备。
[0003]形成器件的晶片是通过对硅锭、SiC锭等锭进行线切割、通过激光加工装置进行切片而生成的。从锭切片出的晶片的正面和背面通过磨削和研磨而被精加工成镜面(例如参照专利文献1和2)。
[0004]专利文献1：日本特开2000
‑
94221号公报
[0005]专利文献2：日本特开2016
‑
111143号公报
[0006]但是，存在如下的问题：在从锭切片出的晶片上存在凹凸或起伏，在通过具有对晶片进行吸引保持的保持面的保持器具来搬送晶片时，在晶片与保持面之间形成间隙，晶片由于外部气体从该间隙流入而从保持器具的保持面落下。

技术实现思路

[0007]因此，本专利技术的目的在于，提供能够可靠本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种板状物保持器具，其对板状物进行吸引保持，其中，该板状物保持器具具有：保持基台，其具有保持面和与吸引源连结的连结口；第一O环，其配设在该保持面；第二O环，其配设在...

【专利技术属性】
技术研发人员：吉井俊悟，
申请(专利权)人：株式会社迪思科，
类型：发明
国别省市：