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带有具有梅花形状的沟道结构的三维存储器件及用于形成其的方法技术
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下载带有具有梅花形状的沟道结构的三维存储器件及用于形成其的方法的技术资料
文档序号:28744226
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公开了三维(3D)存储器件及用于形成其的方法的实施例。在一个示例中,一种3D存储器件包括衬底和沟道结构,所述沟道结构在所述衬底之上垂直地延伸,并且具有在平面图中包括多个花瓣的梅花形状。所述沟道结构包括,在所述多个花瓣中的每个花瓣中的电荷捕获...
该专利属于长江存储科技有限责任公司所有,仅供学习研究参考,未经过长江存储科技有限责任公司授权不得商用。
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